- 產(chǎn)品介紹
電子凈化車間
潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控,另外該類潔凈室對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚,因?yàn)檫^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。
一般來(lái)說(shuō),電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。這時(shí)可有效地消除靜電,并使人也感覺(jué)舒適。
芯片生產(chǎn)車間、集成電路無(wú)塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分。
由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象,同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
◆電子制造廠萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)。
◆電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。
◆電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。
◆電子制造行業(yè)萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的最大值:
一、補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和;二、保證供給潔凈室
內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m³。
◆電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,應(yīng)設(shè)置新風(fēng),超溫?cái)嚯姳Wo(hù),若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無(wú)水保護(hù),寒冷地區(qū),新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。
無(wú)塵室的送風(fēng)量,應(yīng)取下面三項(xiàng)最大值:
1.保證電子制造廠無(wú)塵室空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量;
2.根據(jù)熱,濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量;
3.向電子制造廠潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量。
潔凈度影響因素
潔凈室作為一個(gè)龐大的凈化系統(tǒng),面積大的同時(shí),還需要?jiǎng)澐謴?fù)雜的功能分區(qū)以及相應(yīng)的緩沖配套間等,共同構(gòu)成了復(fù)雜的送、回風(fēng)系統(tǒng)。
因此,會(huì)導(dǎo)致潔凈室的潔凈度不合格的因素很多。主要包括:
(1)設(shè)計(jì)級(jí)別與空調(diào)布置
潔凈室的設(shè)計(jì)級(jí)別與空調(diào)布置情況直接關(guān)系著潔凈室的潔凈度等級(jí)水平。
(2)施工水平
廠房整體施工質(zhì)量,空調(diào)系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、排污系統(tǒng)等保障設(shè)備的安裝質(zhì)量與潔凈室的潔凈度息息相關(guān)。
(3)氣流組織
若氣流組織不合理,則送風(fēng)氣流無(wú)法充分籠罩工作區(qū)。送、回風(fēng)口的位置不合理,將會(huì)產(chǎn)生較高、較大的渦流,則單向流潔凈室的氣流偏斜角過(guò)大;仫L(fēng)格柵開孔面積布置不合理,則回風(fēng)速度偏高,回風(fēng)不暢。
(4)高效過(guò)濾器
高效過(guò)濾器質(zhì)量問(wèn)題或安裝問(wèn)題導(dǎo)致送入潔凈室的空氣未經(jīng)過(guò)有效的過(guò)濾,空氣中懸浮的部分塵埃粒子沒(méi)有被濾除,導(dǎo)致潔凈室內(nèi)潔凈度不合格。
(5)換氣次數(shù)
換氣次數(shù)不足會(huì)導(dǎo)致潔凈室內(nèi)被污染的空氣無(wú)法快速排出潔凈室,過(guò)低的換氣次數(shù)也無(wú)法抑制發(fā)塵源的污染作用。
(6)靜壓差
靜壓差不合格會(huì)使?jié)崈羰覠o(wú)法阻擋其外部的污染物進(jìn)入潔凈室內(nèi)。
(7)風(fēng)淋室
風(fēng)淋室作為進(jìn)入潔凈室所必需的通道,用來(lái)減少進(jìn)出潔凈室所帶來(lái)的污染問(wèn)題。因此,它的質(zhì)量與潔凈室的潔凈度密切相關(guān)。
(8)設(shè)備擺放
室內(nèi)設(shè)備擺放位置不合理會(huì)影響潔凈室內(nèi)的氣流流向不能達(dá)到由上至下、由中心至四周的正常流向,造成氣流紊亂,令污染物不能有效排出潔凈室。
(9)新設(shè)備搬入
新設(shè)備的搬入過(guò)程需將潔凈室內(nèi)環(huán)境與外界大氣連通。因此,需嚴(yán)格控制設(shè)備的搬入時(shí)間與搬運(yùn)安裝流程。同時(shí),設(shè)備的外包裝需經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的擦拭清潔后方可搬入。
(10)化學(xué)物質(zhì)
原材料中的化學(xué)物質(zhì)以及生產(chǎn)過(guò)程中的衍生物均會(huì)產(chǎn)生一定的揮發(fā)物,對(duì)潔凈室的潔凈度產(chǎn)生影響。
(11)保潔水平
潔凈室清潔不徹底將導(dǎo)致室內(nèi)積聚污染物,造成衛(wèi)生死角。
(12)人員與物資運(yùn)轉(zhuǎn)
潔凈室運(yùn)行過(guò)程中,人員和物資的運(yùn)轉(zhuǎn)很容易在污染敏感的活動(dòng)周圍產(chǎn)生空氣紊流,是潔凈度的主要污染源。
物資流轉(zhuǎn)量過(guò)大,作業(yè)人員數(shù)量超標(biāo),人員潔凈服穿著不當(dāng)?shù)葐?wèn)題,均會(huì)造成發(fā)塵量超標(biāo)。
潔凈度等級(jí)(美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E) |
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潔凈度級(jí)別 粒*徑(μm) |
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0.1 |
0.2 |
0.3 |
0.5 |
5 |
1 |
35 |
7.5 |
3 |
1 |
N/A |
10 |
350 |
75 |
75 |
10 |
N/A |
100 |
N/A |
750 |
300 |
100 |
N/A |
1000 |
N/A |
N/A |
N/A |
1000 |
7 |
10000 |
N/A |
N/A |
N/A |
10000 |
70.3 |
100000 |
N/A |
N/A |
N/A |
100000 |
700 |